【宜特小學堂】四大IC切片手法 哪一種最適合你的樣品?

晶片結構內部有問題,想要進行切片觀察,方式好幾種,
該如何針對樣品屬性,選擇正確分析手法呢?
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通常IC切片做斷面或橫截面觀察(Cross-section),是為了能夠確認IC內的金屬接線、各層間的結構、錫球接合(solder joint)、封裝打線(wire bonding),哪個環節可能有缺陷(defect),而導致樣品故障。
觀察IC橫截面找Defect方式有很多種,到底該用哪種呢?本期小學堂將帶來四大分析手法,從針對尺寸極小的目標觀測區,或是大面積結構觀察,讓你快速找到適合的分析手法,觀察更得心應手!