【宜特小學堂】先進製程產能最大關鍵！改善半導體設備缺陷，材料分析技術全方位大解密
半導體生產良率的瓶頸，居然在製程設備，如何透過材料分析，改善缺陷?
2022開始，台積電、英特爾、三星等半導體大廠先進製程大戰如火如荼展開，重砸資本支出在各項先進製程設備，如極紫外光(EUV)設備需求大增；若要在這場大戰奪得先鋒，關鍵在於產品良率(Yield)是否能快速提升。有非常多因素會影響產品良率。
本期iST宜特小學堂將聚焦於「先進製程設備的缺陷如何影響良率」，以及「如何透過材料分析改善缺陷 」
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