110年11月24日
時間
議題
講師
09:30~12:30
1.半導體製程量測
◆積體電路製程流程概述
◆WAT (wafer acceptable test)觀念
◆製程過程中的量測技術
◆設計準則 (Design Rule)
南臺科技大學電子工程系
特聘教授 兼 光電與積體電路故障分析中心執行長
12:30~13:30
午餐&休息
13:30~16:30
2.IC故障分析-3小時(著重在故障成因與良率關係)
◆良率的概念
◆良率與故障分析流程
◆故障案例分析
◆晶圓測試相關流程與測試靈敏度(test marginality、shomo plot)